HEPA和ULPA 过滤器的检漏方法有哪些？

2023-11-21 15:55 昆山久游会服务净化系统工程有限公司

HEPA 是高效过滤器的简称，而ULPA是超高效过滤器的简称。这两种过滤器都是洁净室会经常的使用到的。那么HEPA和ULPA 过滤器的检漏方法有哪些？

 

当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有：

1、DOP 法。

此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0.31μm) 的DOP 或其替代的DOS等液态物质所发生的。此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99.99 ％（0.3μm）及 99.999 ％ （0.3μm）的HEPA过滤器的测试。

2、粒子计数法。

此法是以离散粒子计数器（DPC）作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如DOP或其替代的DOS等液态物质所发生的，亦常用 SPL（聚苯乙烯乳胶球 ）固体物质所发生的 0.1-0.2p,m粒径的气溶胶。此法灵敏度较高，目前主要用于ULPA 过滤器其η≥99.999 ％（0.1-0.2μm）的测试，当然亦可用HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。

3、MPPS法。

此法是欧盟ENl822标准所规定的，亦是以DPC作为检测仪器，测试用气溶胶要求同2。其与粒子计数法的区别主要在于：以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径，HEPA和ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到很低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在 0.1-0.3μm 间，对ULPA过滤器常为0.1-0.2μm；过滤器测试时，需先测定滤料的MPPS：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理（按95 ％置信度）得出整体穿透率及整体效率。更大允许局部穿透率比整体的高 5倍或更多。此法用于HEPA和ULPA过滤器的测试，其灵敏度比一般粒子计数法还高，更接近实际，在测效率的同时亦解决了扫描检漏。

4、钠焰法。

此法采用火焰光度计，它对NaCl燃烧的火焰色度（相当于NaCl的质量）作响应，NaCl质量粒径分布在0.02-2μm间或更狭一些。其质量平均粒径 (MMD) 在 0.5-0.6μm间。此法灵敏度低，且NaCl对微电子工厂的产品质量有害，因此国外早已不用。